vakuové napařování
vakuové napařování, mikroelektronika technol. metoda nanášení tenkých vrstev u obvodů v pevné fázi a obvodů z tenkých vrstev. Materiál, který se má nanášet, se ohřeje ve vakuu na teplotu, při níž se začne vypařovat. Páry kondenzují na chladnějších plochách a vytvářejí pevnou vrstvu. Tloušťky vrstev se pohybují od 1 do 200 nm.
