katodové naprašování

katodové naprašování, mikroelektronika způsob nanášení tenkých kovových vrstev; je zal. na mechanismu přenášení kovu z katody na anodu při doutnavém výboji v plynech. Katoda je zhotovena z materiálu určeného k naprašování, anoda bývá zpravidla ze železa nebo hliníku.